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1.去除晶片表面上形成的薄膜的全部或特定部分至所需厚度的工艺。

2.不客气

3 .抗腐蚀是一个复合词：抗腐蚀，抗侵蚀。

4.字面翻译，金属蚀刻，多晶硅蚀刻，氧化物蚀刻。

5.具体工艺条件没法回答。只能简单的说这三种刻蚀是半导体行业的干法刻蚀，也就是干法刻蚀。

6.蚀刻入.……蚀刻[et？]五、蚀刻【雕刻】一个模型显示硅片表面被蚀刻成二氧化硅层。

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